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.NM     絕對(duì)?磁版本；

.HV，     ?真空版本 ;

.UHV ，超?真空版本；

1        底?尺?*?度

65 × 65 mm × 12 mm

2        主體材料

不銹鋼

純鈦

不銹鋼

不銹鋼

3        線(xiàn)纜 & 接頭

標(biāo)準(zhǔn)屏蔽線(xiàn)纜

DSub9 接頭

kapton漆包線(xiàn)，

PEEK-2mm插針

運(yùn)動(dòng)參數(shù)-空間推薦安裝形式 I.  (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測(cè)得)

4        運(yùn)動(dòng)?程

30 mm

5        最?速度

~ 20 mm/s

6        最?步伐

~ 10 nm

7        驅(qū)動(dòng)頻率

Max. 20 kHz   (超安靜運(yùn)動(dòng))

8        最??平推?

2 N

9        保持?

5 N

0.3 mrad / 0.2 mrad

10       全?程俯仰/偏擺

運(yùn)動(dòng)參數(shù)-空間推薦安裝形式 II.  (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測(cè)得)

11

最?垂直負(fù)載

2 N

12

保持?

5 N

傳感精度

13       位置傳感類(lèi)型

- 電阻型傳感( .R )

- 光柵尺傳感( .O )

14       位置傳感量程

30 mm

15       位置傳感分辨率

- 電阻型傳感( .R )，   100-200 nm

- 光柵尺傳感( .O )，   10 nm，   1nm可選(默認(rèn) 10nm)